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LTCC(低温共烧陶瓷)填孔工艺及相关设备厂家


填孔工序是LTCC 自动生产工序中的关键工序之一。生瓷带经过打孔工艺之后,在形成的孔中填充导电粉料、油墨等,可将不同层与层之间形成电气连接。填孔工序将直接影响到LTCC基板的成品率和可靠性。作为LTCC自动生产线的关键步骤,快速、精准、有效是对填孔工序的新要求。
 

在填孔工序中,要确保通孔互连导通率达到100%。常用的通孔填充方法有两种:印刷填孔技术注入式填孔技术
 
一、印刷填孔技术
 
印刷填孔技术主要有丝网印刷填孔不锈钢漏板印填孔两种方式。两者相比,不锈钢漏板印填孔效果更好,该方式对于目前LTCC最常用孔径在0.1~0.3mm的通孔效果好。


不锈钢漏板印填孔方式的填孔效率高,高度易于控制,且更换漏板便捷。影响填孔的高度和质量主要因素有:漏板厚度、脱网距离、印刷压力、速度、角度和真空吸附等。对应相应的填充物质,再通过综合调节参数,可获得良好的填孔效果。
 
丝网印刷式填孔的原理在于当油墨被刮刀推向孔口时,转动力施加在油墨上,油墨开始转动,由于这个现象,油墨本身的黏性会降低,更容易推过孔口,改善了印刷的质量。


图  油墨滚动微观运动
 
丝网印刷填孔主要的参数有刮刀压力、印刷速度、离网距离等,均会影响到填孔的饱满度,进而影响到后续烧结结果。若出现饱满度较低时,很可能会出现凹陷;严重时会形成漏孔导致基板开路。同样,填孔过于饱和,则可能会影响平整度,造成凸起,进而影响到金丝键合强度。


图  丝网印刷过程


二、注入式填孔
 
当对于孔径小于0.1mm的孔,采用上述方式的效果极差,烧结之后其成品率较低。在印刷时漏过的浆料较少且易堵塞,容易出现浆料收缩的情况,严重影响层与层之间连接。在小于0.1mm的孔进行填孔时,通常采用注入式填孔的效果更好。
 
通过气压将浆料挤压进孔,可自然将孔内的空气排出干净并填满孔。且该方式最小的孔可以到0.05mm。工作台可以是多孔陶瓷或金属板。浆料进入空中的同时,台面进行吸附,有利于空气的排出,进而提高填孔的致密性。影响孔填孔质量的因素主要有填孔压力、加压时间和模板厚度等。可通过参数优化得到较为理想的填孔效果。


注入式填孔由于需要反复给浆料施加大约20kPa的压力,导致浆料中的有机成分挥发加速,影响浆料的流变性,会导致寿命的缩短。其次,在更换掩膜版时,流程较为复杂,适用于大产能的LTCC生产方式。
 
填孔技术是获得优良性能LTCC的关键工序之一。要获得通孔的金属化效果,就必须要采用合适的工艺窗口,包括工艺技术和工艺参数。使用合适的浆料与设备,是顺利进行填孔工序的前提。


目前填孔机的设备厂家有:

  • 中国电子科技集团公司第四十五所
  • KEKO Equipment Ltd

  • 肇庆市宏华电子科技有限公司
  • 肇庆华鑫隆自动化设备有限公司
  • 深圳市宏图志达电子有限公司   
  • ...........

LTCC生产企业有日本的村田、TDK、太阳诱电、京瓷,美国的杜邦、西迪斯;国内著名企业有顺络电子、佳利电子、风华高科、中国电科二所、麦捷微、宏达电子、璟德、奇力新、华新科等。

为了进一步加强交流,艾邦建有LTCC交流群,诚邀LTCC生产企业、设备、材料企业参与。目前群友包括:风华高科、顺络电子、中国电科二所、麦捷微、宏达电子、佳利电子等加入。


目前已经加入的群友有:


公司名称

职位

主营产品

CETC10

设计师

LTCC滤波器,模块,薄膜滤波器,可定制开发

KEKOEquipmentLtd

销售部经理

LTCC HTCC 叠层陶瓷器件生产设备加工设备

SAA

ltcc

天线

Simon电子

总工

LTCC

北京无线电测量研究所

副主任

ltcc基板

成都宏科电子科技有限公司

材料器件厂副厂长

LTCC产品

东荣电子

业务副总经理

日本共立瓷粉,5G天线,则武浆料,LTCC设备,

风华高科

研发工程师

LTCC滤波器

风华高科

研发工程师

LTCC滤波器

风华高科

项目经理

LTCC滤波器

广东风华高新科技股份有限公司

研发工程师

LTCC滤波器、天线,LTCC基板,LTCC流延生片

国巨

FAE

LTCC产品

国巨电子

工厂经理

LTCC

杭州悠洋

技术

ltcc

嘉兴佳利电子

材料研发工程师

LTCC 介质

俊英科技

市场经理

LTCC

俊英科技

工程师

LTCC滤波器及射频微波器件

昆山鑫泽鸿电子有限公司

销售

LTCC、铁氧体粉、合金粉……等等。

堃成科技

销售经理

LTCC滤波器,介质滤波器

上海傲鲲实业有限公司

经理

LTCC的生产设备

上海航天电子有限公司

工艺

LTCC

上海晶材新材料科技有限公司

工艺主管

LTCC生料带

上海网谊光电科技有限责任公司

总经理

 LTCC网版,MLCC网版,MCH网版,LED网版

深圳波而特电子

总经理

LTCC电子元器件、模块等各种微波产品

深圳市麦捷微电子科技股份有限公司

销售总监

LTCC、介质、声表滤波器

深圳顺络电子

开发工程师

片式电感,LTCC滤波器

石家庄铁道大学

教师

LTCC 陶瓷基板,微波介质陶瓷,多孔陶瓷

顺络电子

设备工程师

ltcc

皖淮研究院

研究员

多孔陶瓷材料,LTCC材料,微波介质陶瓷。

研创光电(深圳)有限公司

销售

LTCC陶瓷滤波器

研创光电科技

采购副理

通讯行业用LTCC滤波器、靶材

中电二所

工程师

LTCC基板及元器件

中国电科二所

市场处高级经理

真空热处理设备、LTCC 设备

中国电科二所微组装中心

市场

LTCC电路基板、LTCC滤波器、微组装业务

中国电子科技集团公司第二研究所

工程师

LTCC/HTCC系统集成

中国电子科技集团公司第二研究所

销售经理

ltcc/htcc等陶瓷生产产线

中国电子科技集团公司第四十三研究所

工程师

LTCC

株洲宏达电子股份有限公司深圳波而特事业部(LTCC事业部)

副总工程师

LTCC无源器件、绕线功分器、射频变压器等



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