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PEEK在电子半导体、光伏、液晶光电行业的应用

SEMICON China作为中国重要的半导体行业盛事之一,囊括当今世界上半导体制造领域主要的设备及材料厂商。PEEK高性能特种工程塑料是当今市场上公认的具有优异综合性能的可熔融加工的聚合物新材料,具有耐高温(长期可耐受260℃)、耐腐蚀、耐水解、自润滑、耐磨损、高强度、高纯度、高精度、尺寸稳定等特性优点。


随着晶圆尺寸和集成电路密度的增大,也随着电子半导体工业制造环境要求及对污染源灵敏度的提高,使用PEEK高性能特种工程塑料已成为一条非常必要且行之有效的解决很多技术难题的保证措施。



君华特塑开发的PEEK (聚醚醚酮)聚合物及其复合材料高性能塑料零件已广泛地应用于电子半导体、光伏及液晶光电工业的很多环节。



PEEK晶片夹


PEEK聚合物是一种高性能的热塑性塑料,晶圆加持工具PEEK晶片夹,用于手持式检查晶圆的工具。PEEK不含卤族元素,不会污染半导体晶圆。其优异的综合性能经过专门设计可以满足电子半导体行业日益提高的要求。



PEEK研磨环、选镀环


PEEK应用于化学机械研磨(CMP)。CMP需要严格的规定公差和高质量的表面形状和平面,对于这一用应用,PEEK拥有一系列独特的小性能,如优异的尺寸稳定性;易于机加工;良好的机械性能;良好的耐化学腐蚀性;良好的耐磨性。



PEEK吸笔头、吸笔杆


PEEK吸笔头及吸笔杆用于2- 12英寸半导体晶圆片或者LED外延片。除了耐受高温、低摩擦、电气性能优异以外,其便捷的结构设计通过手动真空吸笔,拾取电子零件及小产品特别方便、简单,其体积小,但是吸力强,移动快速轻便,不会污染产品表面。PEEK吸笔头可以瞬间加温300摄氏度,持续加温250摄氏度,纯度高,不含有卤族元素,对半导体材料无污染,可以升级为防静电PEEK制作。



PEEK支撑线


PEEK支撑线在玻璃基板卡匣内,其所拥有耐磨损,高表面硬度,可大幅减少出尘量;超高纯度与低释气性,可避免污染,从而提高工艺制作良率;耐化学性,可承受大部分的化学物质,用于工艺制作设备的关键性零件可以延长设备的使用寿命并减少设备的维修需求。



PEEK真空无痕吸盘


在半导体行业,为了达到高功能化、低成本,要求制造技术更先进,低粉尘、低气体放出、低离子溶出、低吸水性是对半导体制造工艺中各种设备材质的特殊要求,PEEK具备较高的尺寸稳定性、良好的机械性能、良好的耐化学腐蚀性,能够经受大多数化学制品的腐蚀,这将是PEEK树脂大显身手的地方。



PEEK晶片载具、梳齿


PEEK晶片载具;加热和制冷过程的温度变化以及化学处理过程会引起晶圆载具尺寸发生变化,从而导致晶片擦伤或者破裂。PEEK晶片载具具有更高的尺寸稳定性;表面更耐磨,从而产生的颗粒更少;能在温度的持续变化中保持稳定的物理性能。

PEEK梳齿零件用于倒片机、上下料机设备。PEEK梳齿相比与陶瓷梳齿,具有易加工、韧性好等特点,同时价格只有陶瓷梳齿的1/3左右。



PEEK芯片测试及其他零件


PEEK用于芯片测试:PEEK材料具有优异的耐高温特性,尺寸稳定性、低释气性、低颗粒脱落、耐化学腐蚀、加工灵活等特性。PEEK无可比拟地兼具了高性能及易于加工的特性,因此后端测试OEM能够通过更高的成型量、更坚固的部件、更薄的壁厚及无铅焊接加工方案来提升效率。测试领域产品包括高温矩阵盘、检测插槽、柔性电路基板、预烧测试槽和连接器等。



PEEK螺丝、螺母


PEEK螺丝用于制绒清洗设备,PEEK螺丝耐腐蚀,在较宽的范围内保持对各种化学品的极佳耐受性;PEEK耐高温,长期使用温度为260℃,短期可达300℃;PEEK螺丝可以采用注射成型工艺一次性完成,加工成本低。



PEEK耐磨滚轮


PEEK耐磨滚轮拥有优良的耐磨损性、高表面硬度,可大幅减少发尘量。高耐热性、超高纯度、低析出物与低释气性,可避免污染。良好的电气绝缘性,低噪音。耐化学腐蚀性,可承受大部分的化学腐蚀性物质,减少设备的维修要求。



PI隔块、吸笔头及其他零件


PI聚酰亚胺耐高温、耐腐蚀、耐辐射、抗生锈,拥有良好的电气绝缘性,良好的耐磨性,优异抗蠕变或塑性变形性,真空气体释放量少:因其具有高纯度特性,所以发生向外排气的几率非常低。
文章来源:江苏君华特塑PEEK公众号
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