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滤波器真空镀膜或异军突起,多家镀膜企业抓紧布局
瓷介质滤波器的金属化是滤波器生产中的一个关键技术,直接影响到滤波器的品质因数(Q值)、可靠性、焊接性能等关键性能指标。5G介质滤波器处于发展初期,金属化方案多样,其中绿色环保的PVD镀膜也受到了不少滤波器厂商青睐。


一、陶瓷介质滤波器的PVD镀膜


PVD镀膜是将陶瓷基体置于无污染零排放的真空镀膜设备中,利用高能离子PVD技术在陶瓷表面镀制致密的金属银层,达到陶瓷滤波器金属化目的。




一种微波介质陶瓷磁控溅射镀膜方法(参考专利:CN106747675A):


1.表面预处理:


将介质陶瓷进行表面精细打磨,改善陶瓷的表面粗糙度——超声清洗/真空等离子清洗——烘干;


2.真空镀膜:

  • 采用磁控溅射法在低气压下沉积底层金属,底层金属为铜、镍、钛及其合金中的至少一种,底层金属作为微波介质陶瓷和金属化膜系的过渡层,提供晶格常数、热膨胀系数的匹配,采用活性较强 的金属材料;
  • 采用磁控溅射法在常规气压下沉积金属化膜系。

二、滤波器真空镀膜的优势


目前滤波器厂商如灿勤、嘉康电子等主要采用的金属化是喷银工艺,喷银的浆料浪费较严重,造成成本较高,相对而言,滤波器真空镀膜的优势有:

  • 工艺稳定可靠,自动化程度高,能耗小;
  • 通过纳米溅射镀膜技术,银层厚度均匀性极好。厚度极差小于2um,综合用银量较烧银工艺减少50%以上,综合成本较烧银工艺可以降低30%以上;
  • 真空镀膜利用高能离子加速物理气相沉积,金属银原子团与陶瓷原子团撞击形成金相结构交叉组合键形式的结合层,有很好的附着力,高温稳定性,焊接膜层测试拉拔力大于30N/MM,高温280°C15mim烘烤膜层不起泡;
  • 无污染,工作环境好,产能高。


三、滤波器真空镀膜相关企业介绍


陶瓷介质滤波器PVD镀膜金属化方案越来越受到厂家的青睐,多家企业在滤波器真空镀银工艺方面进行研究开发。


1.深圳三海科技有限公司


三海科技(原三海光电)2005年由肇庆三束镀膜技术发展有限公司在深圳投资建立,其前身是三束公司镀膜技术研发中心。三海科技以现代镀膜技术为核心驱动力,通过镀膜设备、镀膜加工、光学镀膜产品服务于客户。


官网:http://www.sunhigh.net.cn/


2.山东天际新材料科技集团有限公司


山东天际新材料从事真空表面处理与涂层技术的开发以及涂层设备的研发、设计,采用国际先进的物理气相沉积技术(PVD)为产品进行真空镀膜,开发出滤波器真空镀膜金属化技术。


3.纳晶真空涂层技术(东莞)有限公司


纳晶真空涂层技术(东莞)有限公司是拥有超过30年的先进表面处理经验,针对陶瓷金属化这一块比较有研究,陶瓷、塑料、橡胶金属化技术具有成熟的精密陶瓷、塑料、橡胶金属化镀膜技术,为精密陶瓷、塑料、橡胶等材料的后续焊接,封装,散热,导电等提供可能。


官网:http://www.nano-crystalline.com/


4.爱发科真空技术(苏州)有限公司


爱发科真空技术(苏州)有限公司是世界著名的真空设备制造商“株式会社ULVAC(爱发科)”在中国投资兴建的全资公司,主要为半导体功率器件、集成电路、电力电子、LED等行业提供芯片生产及研发的相关真空设备。


官网:http://www.ulvac-suzhou.com/


5.东莞市烽元科技有限公司


东莞烽元科技主营金属陶瓷线路板、陶瓷线路板、陶瓷封装件及相关产品的研发以及陶瓷基板、五金件的纳米涂层技术开发。在滤波器金属化方面开发真空镀银技术。


6.深圳赫鸿科技有限公司


深圳赫鸿科技有限公司是一家专门从事真空镀膜设备、材料和工艺的研发生产,表面处理技术开发应用、自动化设备开发的科技企业。目前自主研发连续式真空镀膜生产线两条,新建盐雾测试设备、高温烘烤测试箱、拉力测试仪、光谱膜厚仪、激光雕刻机等全套测试辅助设备,可提供全套滤波器镀银加工及测试。


官网:http://www.hohong.com.cn/


7.南京纳弧新材料科技有限公司



南京纳弧新材料科技有限公司专注于真空与薄膜技术的研究开发,服务于尖端科学与精密工业,包括先进材料、精密机械、微纳电子、光电技术、光学等应用领域。开发有滤波器磁控溅射镀银方案。


官网:http://www.nanoarctech.cn/


8.东莞市鸿展鑫镀膜科技有限公司


东莞市鸿展鑫镀膜科技拥有先进的真空等离子镀膜设备,业务涉及陶瓷(5G陶瓷介质滤波器)、钟表首饰和功能件等各类小型配件。拥有成熟的工艺技术和丰富的生产经验,能承接各式陶瓷金属化镀膜加工(导电性),电子产品金属化、以及不锈钢、玻璃、合金等为材质的产品做真空镀膜。


图   陶瓷介质滤波器打板


官网:http://dghongzhanxin.com/


9.浙江上方电子装备有限公司


浙江上方电子是国家重点支持的高端电子装备企业,主要产品真空镀膜装备及相关服务,广泛应用于太阳能、新型显示及集成电路等泛半导体领域。


官网:http://www.sunfluxeq.com/


10.南京德芯半导体科技有限公司


南京德芯半导体开发出滤波器镀膜金属化设备和工艺。


11.东莞市宏驰真空技术有限公司


宏驰真空主要从事生产真空镀膜设备及相关配件研发生产销售、真空镀膜技术开发,转让和技术服务以及镀膜代加工等。


官网:http://www.hongchivacuum.com/



以上仅是镀膜相关企业简单介绍,想了解更多滤波器镀膜工艺欢迎加入群聊,目前加入我们群里的有华为、爱立信、诺基亚、三星电子、中兴通讯、灿勤、嘉康电子、迈特通信、风华高科、国华新材、广东通宇、佳利电子、江佳电子、京信通信、摩比天线、大富科技、国人通信、顺络电子、中兴新地、思睿创、波发特、春兴精工、东山精密、武汉凡谷、江嘉科技、生益科技、高斯贝尔、康荣高科等。


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