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艾迪科宣布投资27亿日元在千叶工厂新增光刻胶用光酸产生剂产能

8月30日,艾迪科(ADEKA)宣布,决定在千叶工厂新增产能,提高用于如EUV(极紫外)等半导体先进光刻工艺的光酸产生剂的生产能力,产能将为原来的2倍以上。该项目预计将于2022年3月开工,并于2023年中期实现运营投产。

随着5G通信的普及和远程办公等生活方式的改变,在半导体需求旺盛的背景下,艾迪科的光酸发生剂“ADEKA ARKLS”系列的销售情况良好。 该产品具有ppb(十亿分之一)级别的精细图案形成和低金属管理,并具有世界一流的性能。

未来,随着半导体小型化的进展,预计最先进的光刻技术EUV曝光的扩大,需要对传统的光刻用光刻剂进行技术创新。 在本次投资中,为了加快为EUV提供产品,艾迪科将引进最新设备,实现过去难以处理的ppb>1级的低金属管理。 此外,在引进的生产设备中,计划生产随着小型化进程而需要的半导体周边新材料。

文章来源:艾迪科

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