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突发!ASML德国工厂起火,损失程度仍不清楚
1月3日,荷兰半导体公司阿斯麦尔(ASML)表示,其位于德国柏林市的一家工厂发生火灾,没有人员受伤,目前要评估对营运的影响还太早。


其位于柏林市东部的工厂遭遇火灾,厂房部分区域受损,自动清洗设备喷洒了约200平方公尺的厂房。


据柏林市消防单位指称,一个自动火警系统触发了警报,消防队到达时,该栋建筑物已经清理完毕,约有80名工作人员参与灭火工作。


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随后,ASML也在官网公布了关于该工厂的火灾消息,从官网的信息来看,发生火灾的工厂主要生产ASML的光刻机制造零件。


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这家德国柏林的ASML工厂前身是Berliner Glas,为ASML的光刻机系统的零件制造和供应工厂。,包括晶圆台(wafer tables)、光罩盘(reticle chucks)、反射镜(mirror blocks)等。 

ASML表示,目前就损失或火灾是否会对今年的产出计划产生任何影响发表任何声明还为时过早,还需要几天时间来评估损失,会尽快向市场提供最新消息。“目前就损害或该事件是否会对今年的产量计划产生任何影响发表任何声明还为时过早,”ASML表示,并补充说评估损害需要几天时间,并将尽快地公布。


目前全球半导体短缺,ASML 作为几乎所有主要计算机芯片制造商的关键设备供应商,替全球芯片制造商生产关键设备,拥有独家极紫外光(EUV)微影设备,与台积电、三星及英特尔都有密切合作关系,中国台湾也设有相关部门。目前正在满负荷运转,任何发货延迟都会影响试图扩大产能的客户。 

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此外,ASML的第一台高NA EUV光刻机预计将在2023年开放早期访问,2024年到2025年开放给客户进行研发并从2025年开始量产。据悉,相较于当前0.33NA的EUV光刻机,0.55NA有了革命性进步,它能允许蚀刻更高分辨率的图案。分析师Alan Priestley称,0.55NA光刻机一台的价格会高达3亿美元(约合19亿元),是当前0.33NA的两倍。

有分析认为,大火可能会限制ASML产量(至少在短期内),从而阻碍计划中的晶圆代工生产。

参考来源:满天芯、EET电子工程、路透社、旺材芯片等


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