氟材料是指分子结构中含有氟原子的一类高分子合成材料，以其卓越的耐化学性、耐高低温性、低介电常数、低摩擦系数和憎水憎油性而闻名。
氟塑料 图摄于25年橡塑展劲孚化工
今天给大家简答介绍一下氟材料的分类、氟材料在半导体行业中的应用以及相关企业，更多欢迎大家加群补充交流。
一、氟材料的分类
主要可以分为以下几大类：
1. 氟树脂（塑料）
这是应用最广泛的一类氟材料，通常为半结晶性聚合物。
聚四氟乙烯 (PTFE)：俗称“塑料王”。具有最优异的化学惰性、宽广的使用温度（-190°C ~ 260°C）、极低的摩擦系数和介电常数。但其缺点是难以加工（通常采用烧结成型）且机械性能较差。
PTFE在半导体上的应用 图摄于北塑研究所展台
PTFE 膜片 图摄于爱尔克铃展台
全氟（乙烯-丙烯）共聚物 (FEP)：可以看作是PTFE的改性版本，引入了丙烯单元。它保留了PTFE的大部分优良特性，但熔点更低，可以采用熔融挤出等热塑性塑料的加工方式，使其在管线衬里和线缆绝缘方面应用广泛。
可熔性聚四氟乙烯 (PFA)：同样是为了改善PTFE的加工性能而开发。它的性能与PTFE非常接近，耐温性优于FEP，同时也能进行熔融加工，常用于制造要求极高的半导体级管道、阀门和容器。
PFA在半导体的应用 图摄于大金清研展台
PFA隔膜阀 图摄于索乐新材展台
聚偏氟乙烯 (PVDF)：机械强度高、耐辐射性好，并且具有压电性和热电性。其化学耐性略低于PTFE/FEP/PFA，但对卤素和氧化剂仍有很好的抵抗能力。常用于制造泵、管道和洁净室建材。
乙烯-四氟乙烯共聚物 (ETFE)：具有优异的抗冲击强度、耐磨性和抗撕裂性，机械性能是氟树脂中最好的之一。常用于芯片承载器、线缆护套等。
四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物 (PFA)： (常与上面的PFA归为一类，性能类似)。
聚三氟氯乙烯 (PCTFE)：对气体的阻隔性极好，透湿性极低，常用于高纯化学品的包装。
2.氟橡胶 (FKM)
氟橡胶是在主链或侧链含有氟原子的弹性体，以其极佳的耐高温和耐化学品（尤其是油类、燃料、酸和溶剂）性能而著称。
全氟橡胶密封圈 图摄于大金清研展台
在半导体中，主要用于制造O型圈、密封圈、隔膜等动态或静态密封件，用于真空腔室、泵阀和腐蚀性化学品输送系统中。
3.全氟醚橡胶 (FFKM)
可以看作是氟橡胶的“终极”版本，其分子链中完全不含氢原子，仅由碳、氧和氟原子构成。
具有超越FKM的耐化学性和耐极端高温性能（可达300°C以上），几乎能抵抗所有化学品的侵蚀。
全氟醚橡胶 图摄于沸点密封科技
在半导体中，用于最严苛的工艺环节，如等离子体蚀刻、化学气相沉积 (CVD) 腔体的关键密封，是确保工艺腔体超高真空和不受污染的关键材料。
4. 氟涂料和氟流体
氟涂料：用于为设备部件提供抗粘、耐腐蚀的保护层。
氟流体：如全氟聚醚 (PFPE)，具有化学惰性、不燃性和热稳定性，常用于半导体设备的真空泵油和导热冷却液。
二、在半导体制造中的应用
半导体制造是极其精密的工业过程，对材料的纯度、稳定性和耐腐蚀性要求近乎苛刻。氟材料因其独一无二的特性，几乎贯穿了整个芯片制造流程。
核心需求：
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超高纯度：避免引入金属离子等杂质污染晶圆。
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卓越的耐化学性：抵抗强酸（氢氟酸、硫酸、硝酸、盐酸）、强碱、强氧化剂、高活性等离子体和各种高纯溶剂的侵蚀。
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耐高温性：适应CVD、扩散、离子注入等高温工艺。
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低释气性：在真空环境下不会释放出气体分子，避免破坏真空度和污染腔室。
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出色的电气性能：如低介电常数，适用于电气绝缘部件。
具体应用场景：
1. 高纯化学品输送系统
管道和管线：PFA 是制造超高纯化学品（如硫酸、氢氟酸、双氧水、蚀刻液、光刻胶溶剂）输送管道的首选材料。其内壁光滑，防止颗粒附着，且不会析出污染物。
PFA隔膜阀 图摄于日氟荣高分子展台
图摄于德赢创新
阀门、接头、泵和储罐：PTFE、PFA、PVDF 被广泛用于制造这些系统的关键部件，确保整个输送路径的纯净和耐腐蚀。
2. 晶圆加工设备（Fab Equipment）
工艺腔室部件：
蚀刻 (Etching) 和 CVD 腔体：内部的喷淋头 (Showerhead)、气体分配盘、聚焦环 (Focus Ring)、腔室内衬 (Liner) 等大量使用PTFE、PFA 等材料制造，以承受腐蚀性工艺气体（如CF₄, SF₆, Cl₂）和等离子体的轰击。
密封件：腔室门、视窗、电极导入等处的静态和动态密封，根据工况严重程度，依次使用FKM（一般工况）和 FFKM（极端工况）。FFKM是确保腔体在高腐蚀性等离子体环境中维持超高真空的关键。
全氟醚O型圈 图摄于蒲照橡塑展台
湿法工艺 (Wet Bench)：
用于晶圆清洗、蚀刻的槽体、花篮、卡具等常使用PVDF 或 PP（聚丙烯）内衬，但关键部件和高端应用会使用PFA。
PTFE花篮 图摄于科赛新材展台
一体成型槽 图摄于金士领展台
超纯PTFE零部件 图摄于沃凯氟展台
PTFE花篮 图摄于旭氟新材
3. 先进光刻技术 (Lithography)
EUV 光刻胶：极紫外 (EUV) 光刻是生产7nm以下芯片的关键技术。新一代的含氟化学放大光刻胶正在被开发，因为氟原子对EUV光有较高的吸收效率，可以提高光刻灵敏度和分辨率。
4. 化学机械抛光 (CMP)
抛光垫载体膜：CMP抛光设备的抛光头中有一层关键薄膜，用于向下均匀传递压力并保持晶圆。PTFE涂层或复合膜因其抗粘性和化学稳定性而被应用于此。
5. 真空系统
真空泵：半导体设备的干式泵和分子泵广泛使用FFKM 作为密封材料。同时，全氟聚醚 (PFPE) 油 也常用作真空泵的工作流体，因其具有极低的蒸气压和化学惰性。
6. 线缆与连接器
在具有腐蚀性气氛的厂务环境中，FEP、ETFE 被用作关键传感器和线缆的绝缘护套，保证信号传输的稳定和设备安全。
三、氟材料相关企业
结合最近展会，给大家简答罗列一下氟材料相关的企业及其主营产品，更多欢迎大家补充。
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企业 |
主营 |
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山东东岳高分子材料有限公司 |
氟树脂、氟橡胶、氟硅橡胶 |
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大金氟化工(中国)有限公司 |
氟树脂、橡胶、涂料 |
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东莞市宏鑫氟塑制品有限公司 |
铁氟龙一体成型清洗槽、铁氟龙candy、铁氟龙焊接槽 |
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江苏旭氟新材料有限公司 |
PTFE槽体PTFE花篮PTFE加工件PTFE CUPPITE板棒膜材料 |
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浙江科赛新材料科技有限公司 |
PTFE TANK、PTFE CUP、加工件、特种工程型材 |
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南京肯特复合材料股份有限公司 |
PTFE/PCTFE/PPA/P1/PEEK制品 |
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中兴化成贸易（上海）有限公司 |
PTFE槽及箱体 |
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上海英纳维逊液压系统有限公司 |
全氟硅橡胶密封圈、半导体用途密封圈 |
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青岛芯氟新材料科技有限公司 |
半导体用O型圈（特大、大、中、小）、ESCring、异型圈、平面门封、闸刀门封 |
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上海格意光电材料有限公司 |
工程塑料件 工业橡胶件 全氟密封圈 |
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无锡海创半导体有限公司 |
全氟硅密封圈、门板、MKS、真空阀门、ESC |
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厦门旭隆密封件有限公司 |
全氟O型圈，中心圈，橡胶密封件，工程塑料件，金属定制件 |
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上海熹贾精密技术有限公司 |
原材料：FFKM/特种FKM/PFA、O-ring、Bonded Door Seals、高洁净度塑料件/复合件、 |
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上海嘉诺密封技术有限公司 |
全氟硅橡胶件、全氟硅型圈、异型定制件、狭缝阀板、NW法兰环、旋转轴封、弹簧蓄 |
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大金清研先进科技（惠州）有限公司 |
①全氟橡胶密封圈②FFKM 0型圈③全氟橡胶FEM橡胶密封件 |
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沸点密封科技（江苏）有限公司 |
全氟硅KK/KH/KS以及氟系列全系0-Ring |
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东莞泰克密封技术有限公司 |
全氟醚密封圈，耐腐蚀密封圈，板阀，门阀 |
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金士领(河源)科技有限公司 |
PTFE螺纹件，密封件，异形件、模压件、填充件、密封圈 |
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上海芯密科技有限公司 |
全氟密封，静密封、管路密封、钟摆阀密封、门阀 |
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江阴市江南氟塑有限公司 |
PVDF管配件、高纯度PFA衬里隔膜阀 |
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紫兴玉光管路系统有限公司 |
PVDF/PPH阀门管道管件、双卡套接头、FEP/PFA/PE软管、PFA/PTFE接头、PP配件、水处理设备 |
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浙江嘉翔氟塑料有限公司 |
聚四氟乙烯半导体槽、超纯PFA半导体接头、超纯PFA半导体管、PTFE半导体配套制品 |
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德赢创新（上海）半导体设备技术有限公司 |
超洁净PFA流体元件（接头/阀门/管材）制程用晶圆载具超洁净PFA填料高分子材料定制 |
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日氟荣高分子材料（上海）有限公司 |
ETFE薄膜、FEP薄膜、PFA管/接头/阀座、氟材料精加工件 |
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江苏瑞氟超净科技有限公司 |
超纯PFA管/PFA棒/PFA板、PCTFE管/棒 |
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科领达半导体科技（上海）有限公司 |
高纯PFA接头、高纯管阀件、高纯传感器、高纯波纹管弹簧管、PFA PTFE定制加工件 |
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意氟密封件（无锡）有限公司 |
四氟模压管，四氟模压板，四氟薄膜 |
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杭州科百特过滤器材有限公司 |
高精度液体、气体过滤纯化解决方案超洁净PFA管阀泵超洁净PVDF管道系统 |
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阿尔法新材料（辽宁）有限责任公司 |
① 半导体用高纯PFA管路及系统 ② PTFE波纹管 ③ PTFE内平外波波纹管 ④ PTFE 挤 |
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氟纬高分子材料（上海）有限公司 |
衬氟不锈钢阀门/管件、PFA/PTE制品、背衬玻纤板、氟塑料原料 |
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迅势科技（苏州）有限公司 |
高纯PFAR隔膜阀、高纯PFAR接头、高纯PFAR管材、传感、泵 |
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青岛汉兴新材料有限公司 |
聚四氟乙烯膜片、泵体、阀体、管子等 |
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米克纳精密科技（苏州）有限公司 |
PFA气动隔膜阀（3/4"、1/2"、1/4"、1/8" 等） |
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宁波泰弗诺氟塑制品有限公司 |
PTFE、PPA、PCTFE、PVDF等高分子含氮树脂的各类制品 |
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广东华粤塑料制品有限公司 |
PFA管、FEP管、PTFE管、PFA接头、PFA波纹管 |
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江苏德荣特新材料有限公司 |
PTFE软管、PFA管、冷却用橡胶管、卡套接头 |
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江苏祥健新材料科技有限公司 |
PTFE制品、PFA制品、PCTFE制品 |
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北京瑞山博远科技发展有限公司 |
风囊泵、PFA接头、PFA阀门、水气枪、桶接头、非标氟塑料加工制晶 |
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上海特氟隆科技有限公司 |
SEBA阀门、SEBA压力传感器、EFI高纯FFA管、EFI高纯PFA接头、PFA气动手动隔膜阀 |
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南通金沐霖流体科技有限公司 |
PFA；软管 波纹管 弹簧管 接头 阀门 PTFE/PVDF/PP；接头 阀门 非标定制件化学品接 |
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厦门佰氟达科技有限公司 |
PFA氟材料内螺纹NPT接头 |
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玖研科技（上海）有限公司 |
CLEAN PVC / UPVC / CPVC / PVDF / PFA / PP等工业塑胶管产品 |
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上海琚氟塑胶科技有限公司 |
PVDF制品，阀门、管道内衬 |
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昆山市台圣材料科技有限公司 |
半导体特种工程塑料设计加工制造、PP/PVC机柜槽体清洗机通风柜、PEEK、PTFE加工、高性能工程塑料板材 |
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江苏林炜新材料有限公司 |
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东莞市圣安塑料机械有限公司 |
PFA超洁净管精密挤出生产线、热收缩管精密挤出生产线、高温氟塑料棒材挤出生产线、PEEK生产线 |
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佛山市海瑞嘉精密挤出机械有限公司 |
超纯PFA挤出生产线、精密氟塑料导管挤出生产线、双层管挤出生产线 |
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艾杰旭化工科技（上海）有限公司 |
ETFE离型膜、可粘接性氟树脂、氟橡胶FFKM |
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松山三实业(深圳)有限公司 |
PEEK,PPS,PVDF,PTFE等工程塑料螺钉;定制极小精密弹簧:超精密加工件:日本原产生地 |
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深圳市优品电热科技有限公司 |
铁氟龙加热器、PPA在线加热器、投入式PPA加热器、管壳式PPA换热器、投入式换热器 |
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恩欣格工程塑料（上海）有限公司 |
PEEK, PPS, PI, PVDF, PEI等塑料加工件CMP研磨环清洗机ChuckPEEK焊接件（Wafer |
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苏州安和达塑胶制品有限公司 |
PEEK, PVDF, PP, PTFE, PI |
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包括但不仅限于以上企业，欢迎大家扫码加群补充，后期将给大家分类介绍各企业的产品。
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