2026湾芯展10月14–16日于深圳会展中心(福田)开展,覆盖晶圆制造、化合物半导体、先进封装、IC设计及AI基础设施四大板块。小编本次观展聚焦塑料在半导体行业的应用。

 

污染管控是半导体制造的核心难题。随着器件不断微缩,芯片对杂质耐受度持续下降,生产需满足无尘、高温、腐蚀化学品输送等严苛条件。半导体行业的塑料主要承担晶圆传输、包装、密封等功能,串联各工序,减少污染与器件损伤。

 

湾芯展现场观察显示,PFA 等高纯氟塑料领域进展显著,材料体系朝着高纯化、高性能化方向升级、高纯流体设备及零部件国产化提速三大趋势。

 

塑料在半导体制程中发挥重要作用,抗静电塑料、PP、ABS、PC、PPS、PEI,氟材料、PEEK、PI、PAI等塑料被广泛应用半导体制程中,如载具,治具,洁净室,管道,输送系统,化学品存放等。为了加快上下游交流艾邦建有半导体产业链微信群,欢迎加入产业链微信群。

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一、 湾芯展现场展品观察

 

从展会现场看,半导体用塑料制品覆盖了从晶圆制造到封装测试的全流程,以不同的塑料体系可分为:氟塑料体系、工程塑料/高性能聚合物体系、橡胶密封体系。

 

1、 氟塑料体系

 

氟塑料(PFA/PTFE/PVDF等)是展会中占比最大的品类,主要承担湿法化学品等介质的部件与管路系统。半导体湿制程、高纯化学品输送场景,需要材料同时满足强耐化学腐蚀、超高纯度(极低金属析出)、低颗粒、耐高温;通用塑料、普通工程塑料难以同时达标,PTFE 和 PFA 等氟塑料是少数能满足这一套严苛组合要求的高分子材料,因此成为晶圆厂高纯流体系统首选。

高纯流体输送系统:现场展出的阀、接头、管、歧管、泵体/壳体、滤壳等,构成了晶圆厂化学品分配系统的核心。

PTFE在线加热器、波纹管、PFA在线加热器等,来源:沃凯氟展台

PTFE阀块/波纹管/流体接头/泵等,来源:山东美氟展台

PFA/PCTFE管、棒等氟塑制品,来源:江苏瑞氟超净

PVDF阀门/管接头、PFA管/阀/接头等,来源:科倍特

化学品存储与配液:

PFA化学容器,来源:沃凯氟

PFA超洁净瓶,来源:科倍特

过滤系统:

PFA/PTFE滤壳、滤芯、过滤器等,来源:恒芯新材料 

全氟过滤器、滤芯等,来源:科倍特 

全氟滤芯,来源:迈博瑞

 

PTFE焊接槽与一体成型循环槽:

PTFE一体成型循环槽,来源:东莞宏鑫

2、 工程塑料/高性能聚合物体系

 

工程塑料/高性能聚合物体系——更多用于干法/高温/真空或等离子附近的绝缘、支撑、夹治具与耐磨结构件,以及部分晶圆搬运端执行器与工具侧附件;其中 CMP保持环等典型耗材长期以PEEK/PPS等耐磨、尺寸稳定材料为主。另外,通用工程塑料(如PC和PP等)多承担晶圆盒、外罩、支架、线缆管理、部分非关键结构件与低腐蚀工况件。

 

晶圆承载与运输:

 

展会现场展示了大量PEEK和PP材质的晶圆载具、花篮(Cassette)、运输盒。

 

晶圆载具(晶圆片架Cassette、晶圆运输盒等),来源:义柏

晶圆运输盒,来源:海纳新材

晶圆载具、PTFE氟塑件、腔体等,来源:沃特股份

CMP保持环与抛光垫:

CMP是塑料件使用最密集的设备类别之一。CMP保持环作为该工艺中的关键耗材,对晶圆起到固定、支撑的作用。随着工艺复杂度提升,对保持环材料的性能要求也日益严苛。目前CMP保持环的材质现状以PEEK(聚醚醚酮)和PPS(聚苯硫醚)为主,其中PEEK占据主流并呈持续替代趋势。

CMP保持环(该图中为PPS材质,PEEK材质本次未展出),来源:江丰电子

PU材质CMP抛光垫,来源:江丰电子

3、 橡胶密封体系

 

密封件虽小,却是保障制程介质绝对密封的关键。展会现场,森桓密封、泰克密封、铠安科技等企业展示了覆盖全氟醚橡胶(FFKM)、氟橡胶(FKM)、硅橡胶、EPDM等多种材质的O型圈和定制密封件。


密封件,来源:泰克密封

密封件,来源:铠安科技

全氟密封件,来源:科倍特

密封件,来源:森桓密封

全氟密封圈,来源:沸点密封科技

二、 三大趋势

 

1、 PFA领域进展显著

 

本届展会上,PFA相关展品数量和品类有很多,覆盖管、棒、板、焊条、焊带、化学容器、在线加热器、波纹管及精密加工件,显示出PFA已成为半导体高纯流体系统中最活跃的材料方向。

 

2、 材料体系向高纯化与高性能化升级

 

氟塑料主导高纯流体领域:在湿法清洗、化学品输送、超纯水等强腐蚀、高洁净场景中,PFA/PTFE/PVDF凭借极低的析出、低颗粒和优异的化学兼容性,成为不可替代的刚需材料,正朝着更低析出、更高纯度的方向迭代。

高性能工程塑料主导精密与极端工况领域:在CMP保持环的选材中,PEEK凭借磨损率低、寿命长、耐温性更高等优势正在逐渐替代PPS。

 

3、 设备与零部件国产化加速

 

国产替代是本届展会最显著的趋势之一,本土企业在PFA管阀件、过滤系统、密封件、晶圆载具、CMP耗材等领域形成较为完整的产品矩阵。

 

作者 808, ab